功能：

                             高分辨样品微区形貌分析，能谱（EDS）实现微区成分分析，

                             背散射电子衍射（EBSD）实现结构及结晶学信息分析。

                             性能： 

                             热场发射型，分辨率1.3nm

                             能谱(EDS)面扫描

                             牛津EBSD晶体方位测定

                            负责人：马玺（010-6200 9030）